DLC類金剛石涂層是一種應用于工模具表面改性領域的技術。該技術對于工藝的要求以及工件模具的質量要求較高，這是確保產品品質的關鍵，所以就由利晟納米小編為大家介紹一下 DLC類金剛石涂層工藝流程吧！
  
金剛石涂層工藝流程
  
  1、工件基體處理
  
  這一步是比較重要的，將工件拋光到小于Ra0.2um, 涂覆處理后的工件才可得到滿意的表面質量，這對成形一些具有光學性能要求的零件是非常重要的，類似成形光學鏡頭和成形LED零件等。操作的時候需要注意基體表面處理不能留有死角，這影響到膜層是否能與基體牢固地結合。
  
  2、充分清洗
  
  將要涂覆的工件進行充分清洗，涂覆的母材、質量水平和幾何形狀決定了清洗的工藝。工件裝在設定的夾具上，夾具是在使腔體裝載尺寸優化和保證涂覆均勻的基礎上設計的。清洗方法為真空室抽真空至10-6托(高真空)來排除系統中的任何污染物，真空室中通入惰性氣體并使其離子化，導致產生輝光放電(等離子體)，這是氣體清洗階段使零件做好金屬沉淀準備。
  DLC類金剛石涂層
  3、金屬沉淀
  
  在用于沉淀的固體金屬上（指靶材）加載高電流、低電壓電弧，金屬被蒸發并且瞬間離子化，屬離子在高能量的作用下通過惰性氣體或活性氣體進入腔體并沉淀在工件上。在金屬沉淀過程中蒸發了的金屬(靶材)保持不變。在激i活的沉淀過程中，改變氣體的體積或種類將會改變膜層的性質，形成像碳化物、氮化物或氧化物的陶瓷。同樣，通過改變靶材的材質也可以產生不同的膜層。